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HBM/MM半导体静电放电发生器

产品型号: ESD-883D

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  • ESD-883D半导体静电放电发生器,是LISUN专为半导体器件(如芯片、二极管、晶体管、IC 模块)设计的高精度静电放电(ESD)抗扰度测试设备,核心功能是模拟半导体生产、运输及装配过程中常见的两种静电放电模型:人体放电模型(HBM,Human-Body Model) 与机器放电模型(MM,Machine Model),通过标准化高压脉冲注入,评估半导体器件对静电冲击的耐受极限,提前排查器件因静电导致的栅极击穿、PN 结损坏等隐性故障,为半导体器件的可靠性设计与出厂质检提供关键测试依据。该设备采用模块化电路设计,支持 HBM 与 MM 测试模式一键切换,配备高精度电压反馈系统,确保放电电压误差≤±3%,同时内置防尘、防腐蚀外壳,适配半导体洁净车间(Class 1000)的严苛环境要求。​

    ESD-883D搭载超大中英文安卓触控屏,支持测试参数预设(如 HBM 2kV/4kV/8kV 标准等级),兼容 LISUN 自主研发的半导体测试夹具(如 TO 封装夹具、SMD 贴片夹具),可适配 DIP、SOP、QFP 等不同封装形式的半导体器件,无需频繁更换工装。无论是半导体设计公司的芯片可靠性验证,还是封装厂的出厂质检,亦或是第三方实验室的合规认证,该设备均能提供稳定、精准的测试环境,助力半导体产品满足全球市场静电防护标准。

    放电模型 国际标准 中国标准
    人体放电
    HBM
    MIL-STD-883 Method 3015 “Test Method Standard for Microcircuits-Electrostatic Discharge Susceptibility Testing” GB/T 4937.26-2023 《半导体器件 机械和气候试验方法 第 26 部分:静电放电敏感度试验 人体模型》(等同采用 IEC 60749-26:2018)
    ANSI/ESD STM5.1-2007 “Standard Test Method for Electrostatic Discharge Sensitivity Testing-Human Body Model (HBM)-Component Level”
    ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2024 “Electrostatic Discharge (ESD) Sensitivity Testing-Human-Body Model (HBM)-Component Level”
    IEC 60749-26:2018 “Semiconductor devices-Mechanical and climatic test methods-Part 26: Electrostatic discharge (ESD) sensitivity testing-Human body model (HBM)”
    AEC-Q100-002 “Failure Mechanism Based Stress Test Qualification for Integrated Circuits-ESD HBM Test”
    EIA/JESD22-A114-A “Test Method for Electrostatic Discharge Sensitivity Testing-Human Body Model (HBM)”
    机器放电
    MM
    ANSI/ESD STM5.2-2013 “Standard Test Method for Electrostatic Discharge Sensitivity Testing-Machine Model (MM)-Component Level” GB/T 4937.27-2023 《半导体器件 机械和气候试验方法 第 27 部分:静电放电敏感度试验 机器模型》(等同采用 IEC 60749-27:2012)
    IEC 60749-27:2012 “Semiconductor devices-Mechanical and climatic test methods-Part 27: Electrostatic discharge (ESD) sensitivity testing-Machine model (MM)”
    AEC-Q100-003 “Failure Mechanism Based Stress Test Qualification for Integrated Circuits-ESD MM Test”
    EIA/JESD22-A115-A “Test Method for Electrostatic Discharge Sensitivity Testing-Machine Model (MM)”

    规格参数

    输出电压 人体放电模式(HBM) 机器放电模式(MM)
    0.1~8kV±5% 100~800V±5%
    输出极性 正、负、正负交替
    触发模式 单次 单次放电
    计数 按设定的放电次数放电
    其它 主机自触发
    放电模式 人体模式HBM或机器模式MM
    放电间隔 1~99s
    放电次数 1~999
    放电电容 100pF±10% 200pF±10%
    放电电阻 1500Ω±10% 0Ω±10%
    系统电源 AC 100~240V, 50/60Hz, 300W
    使用环境 温度:15°C~35°C;湿度:10%~75%

    注意:ESD-883D可与ESD-CDM带电器件模式(CDM)半导体静电放电发生器共用一台主机,同时测试HBM、MM和CDM(LISUN型号:ESD-883D/ESD-CDM)

    典型应用:
    1 半导体设计与研发领域​
    •  芯片可靠性验证:针对 IC 设计公司研发的 MCU、电源管理芯片、射频芯片等,通过 HBM 测试(如 1kV/2kV/4kV 标准等级)模拟人体接触芯片时的静电放电,通过 MM 测试(如 0.5kV/1kV)模拟自动化设备(如贴片机、探针台)与芯片接触时的静电放电,验证芯片栅极氧化层、PN 结的抗静电能力,优化芯片静电防护设计(如增加 ESD 保护二极管),避免研发阶段因静电防护不足导致芯片失效。​
    •  新材料静电敏感度测试:对半导体新材料(如宽禁带半导体 SiC、GaN 器件)开展 HBM/MM 测试,确定新材料的静电敏感度等级(如 Class 000、Class 00),为新材料在高频、高压芯片中的应用提供可靠性数据支撑。​
    2 半导体封装与制造领域​
    •  封装后质检:在半导体封装厂(如 DIP、SOP、QFP 封装工序后),对每批次封装完成的器件进行 HBM/MM 抽样测试,通过 ESD-883D的双模式快速切换,检测封装过程中是否因引线键合不良、封装胶体破损导致器件静电敏感度下降,确保出厂器件符合 JEDEC JESD22-A114F/A115-A 标准要求。​
    3 汽车电子半导体领域​
    •  车载芯片静电测试:针对车载 MCU、传感器芯片(如毫米波雷达芯片、摄像头 ISP 芯片),依据 AEC-Q100(汽车电子元件可靠性标准)中 “ESD 敏感度测试” 要求,通过 HBM 8kV、MM 2kV 测试模拟汽车装配过程中(如人工插拔连接器、自动化装配)的静电冲击,确保芯片在车载环境下的抗静电可靠性,避免因静电导致车载系统功能故障(如仪表盘黑屏、自动驾驶信号误报)。​
    •  IGBT 模块测试:对新能源汽车 IGBT 模块的栅极驱动芯片进行 HBM/MM 测试,验证栅极电路对静电的耐受能力,防止静电导致 IGBT 误开通或栅极击穿,保障新能源汽车动力系统安全稳定运行。​
    4 军工与高可靠性半导体领域​
    •  军工芯片测试:依据 GJB 548B-2020 Method 3015及MIL-STD-883 Method 3015,对军用通信芯片、雷达芯片、导航芯片开展严苛的 HBM/MM 测试(如 HBM 8kV、MM 5kV),模拟军工产品运输(如弹药箱震动摩擦)、战场使用(如干燥环境人体静电)中的静电场景,确保芯片在极端环境下的抗静电性能,保障军工装备作战可靠性。​
    •  航空航天半导体测试:针对航空航天用半导体器件(如卫星导航芯片、航天器电源管理芯片),通过 ESD-883D的宽温域适配性(0℃~40℃),在模拟航天器舱内环境下开展 HBM/MM 测试,验证器件在空间真空、低温环境下的静电敏感度,避免因空间静电放电导致航天器故障。​
    5 第三方检测与认证领域​
    •  合规认证测试:SGS、CQC、TÜV 等第三方检测机构使用 ESD-883D设备,依据 IEC 60749-26/27、JEDEC JESD22-A114F/A115-A 等国际标准,为半导体企业提供 HBM/MM 静电敏感度测试报告,助力企业产品通过 CE(欧盟)、UL(美国)、CCC(中国)等认证,进入全球市场。​
    •  标准符合性验证:针对半导体测试实验室的资质认定(如 CNAS 认证),ESD-883D设备可作为标准测试设备,通过定期校准(符合 ISO 17025 要求)确保测试数据的溯源性,帮助实验室通过资质审核,具备出具权威测试报告的能力。​
    6 消费电子半导体领域​
    •  消费级芯片测试:针对手机 SoC、蓝牙耳机芯片、智能家居 MCU 等消费电子半导体器件,通过 HBM 2kV~4kV、MM 0.5kV~1kV 测试,模拟消费者使用过程中(如手机充电插拔、耳机佩戴)的静电冲击,确保器件符合消费电子产品静电防护标准,避免因静电导致产品死机、续航下降等问题。​
    •  半导体组件测试:对消费电子中的半导体组件(如摄像头模组、显示屏驱动 IC 组件)开展 HBM/MM 测试,验证组件中多个芯片协同工作时的抗静电能力,防止因单个芯片静电失效导致整个组件损坏,降低消费电子产品售后故障率。

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  • HBM/MM静电放电发生器 - 产品展示

  • ESD-883D HBM/MM Calibration Certificate