CDM半导体静电放电发生器

ESD-CDM半导体静电放电发生器是针对带电器件放电模型(CDM)的特点和要求专门设计，可以对LED芯片、晶体管、IC等半导体器件进行静电抗扰度的测试。按照如下相应标准的要求进行设计和制造，同时完全满足如下标准中最严酷等级的静电电压要求。

该系统主要由直流高压源、测试主机、静电测试探针（含衰减器）三部分构成，可实现带电器件模型（CDM）静电感应带电、静电放电及放电信号采集测试功能。注意：ESD-CDM可与ESD-883D半导体静电放电发生器(HBM/MM)共用一台主机，同时测试HBM、MM和CDM（LISUN型号：ESD-883D/ESD-CDM）

系统组成：
•  直流高压源部分
a. 电压输出范围：±(10V~5kV)；
b. 电压输出最大允许误差：±(3%×读数值+10V)；
•  测试主机部分
a. 对高压感应板进行绝缘隔离，防止高压漏电；
b. “高压感应板+隔离板”整体可三向位移调节，调节范围0~10cm，调节精度0.1mm（手动调节）；
c.感应板尺寸：12cm*12cm*2mm ；
d.隔离板尺寸：12cm*12cm*0.4mm，材料：FR4
•  静电测试探针部分
a. 静电放电电流脉冲峰值最大测量能力≥20A；
b. 探针尺寸：Φ1.5*10mm，伸缩长度：≈3mm；
c. 测试探针可垂直移动（程控+手控），速度可调，移动速度0.1cm/s~5cm/s
d. 测试探针部分配备衰减器，留有数据采集口/线可直连示波器
e. 接地板尺寸：63.5 mm*63.5 mm*6.35 mm

结构示意图

原理参考图（ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2014）

原理图

等效电路图

测试探针实物参考图

底座实物图

底座三维调节示意图（参考）

使用方法：
1. 受测器件放置在绝缘板上，夹具固定，管脚朝上；
2. 手动调节底座三维旋钮，使受测管脚在中心；
3. 手动控制测试探针至位移最大处，确认恰好与管脚接触后，恢复位置；
4. 设置探针移动速度至合适值；
4. 启动高压源至XX电压，使受测器件处于静电感应带电状态；
5. 使探针自动快速下移，与管脚接触完成CDM放电过程，同时放电波形数据经由同轴线缆传输至示波器进行现实与存储。

试验操作过程示意图示意图