OLED设备制造技术发展概况

OLED（有机发光显示器）是继CRT、LCD、LED及PDP（等离子显示屏）之后的新一代平板显示技术，具有显著的新兴产业特征。OLED是利用有机半导体材料在电场作用下发光的显示技术，是一种新型的纯固体（CRT和PDP等离子都拥有真空技术，LCD液晶则拥有液态技术）显示技术，兼具CRT和LCD两种显示技术的优势，具有自发光（无需背光源）、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等优点，被誉为“梦幻般的显示技术”（见表1和表2）

	OLED	LCD	OLED显示产品技术趋势
视角宽度	不受限制	受限制	视角宽，测试画面色彩不失真。
响应时间	微秒（μs）	毫秒（ms）	更适合播放动态画像，无拖尾现象。
发光方式	主动发光	被动发光	无需背光源，器件更薄，对比度更高，色彩更鲜艳。
温度范围	-40-80℃	0-60℃	高低温性能优越，适应严寒等特殊环境。

表1 OLED 与LCD(液晶显示器)比较

	OLED	LCD	OLED显示产品技术趋势
发光区域	面发光	点发光	OLED 更轻薄，并可用于高分辨率显示，如手机屏、电脑显示器、电视机等。而 LED只适用于户外大屏幕显示。
像素大小与像素间距	微米级	毫米级
显示屏厚度	<2毫米	>4毫米

表2 OLED 与LCD(发光二极管)比较

OLED两大主要应用市场为显示和照明，其中又以显示应用发展较为快速。当前，OLED显示技术要对市场产生真正的影响还需要克服一些挑战。首先，OLED显示屏制造工艺还不成熟，大尺寸屏难以量产。随着OLED显示屏尺寸的加大，成品率损失和制造损失也越来越大。其次，OLED显示屏材料的使用寿命仍需要进一步提高。

按驱动方式分类，OLED器件又可分为无源驱动（又称被动驱动，PM-OLED）与有源驱动（又称主动驱动，AM-OLED）。PM-OLED器件不采用薄膜晶体管（TFT），一般适用于中小尺寸显示。AM-OLED器件适用于中大尺寸显示，特别是大尺寸全彩色动态图像显示。与PM-OLED相比，通常说的新型显示指的是AM-OLED，其具有反应速度较快、视角较广等特点，有更大的应用领域。相比于传统的TFT-LCD液晶面板而言，AM-OLED面板有着机体薄、对比度高、色彩丰富、分辨率高、视角宽广、耗电量低等诸多优点。另外，由于OLED面板内没有液体分子，其抗震性能更好、耐低温、结实耐用。同时，与毫秒级响应的TFT-LCD面板相比，AM-OLED面板的响应时间是其几千分之一，不会出现拖尾和动态画面抖动的问题。因此，AM-OLED已被业内共识为“新型平板显示技术”。目前中小尺寸AM-OLED面板在高端手机上的应用已成定局，但在大尺寸电视方面还不足以产生革命。

一般而言，OLED制造设备主要包括：有机蒸镀和封装等无源有机发光显示（PM-OLED）用关键设备，溅镀台、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、真空热蒸发系统（VTE）等AM-OLED用薄膜晶体管（TFT）薄膜沉积设备，涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等AM-OLED用TFT图形制作设备，退火炉、退火气体管道、激光退火设备等AM-OLED用TFT退火设备，TFT电学测试设备、OLED光学测试设备等AM-OLED用检测设备，激光修补机等AM-OLED用缺陷检测修补设备等。

2011年OLED技术进展快速，而2012年将是AM-OLED量产技术达到成熟并应用到大型化面板量产的开始｡未来十年内，OLED技术将持续蓬勃发展，尤其在有机发光材料、有机材料镀膜、电路驱动方式与封装等技术上都有很好进展。虽然目前OLED最大量产玻璃基板为5.5代，而5.5代以上的量产成本结构尚不明确，但随着AM-OLED技术的逐渐成熟稳定，AM-OLED面板制造商将开始导入量产于大尺寸应用上。

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